島津微焦點X射線SMX-6000是島津公司采用自制的微焦點X射線發生器和高靈敏度平板接收器的一款帶有CT功能的X射線透視系統。順暢的切換將透視觀察和斷面觀察快速連接在一起，全新的CT處理引擎能夠進行全自動校準、高速拍攝以及重構。高放大倍數、高分辨率的圖像不會變形，從而可以觀察電子元器件等平板狀樣品內部的細微構造和缺陷。